提要１．採用了電子無線束式的多效蒸發源。 都可以停機高沸點金屬件和腐蝕物的鍍晶。２．化掉時延的按耐和膜厚的控制由珍珠發振式膜厚計來終止３．研制的主泵為空氣冷卻泵。４．控制規范工作體系為全自覺式。
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顯著特點１．為認定杰出貢獻的膜厚散播謠言，設置武器裝備陳列了化掉源和的基板的夾具。２．網絡束式蒸餾源採用了3點式坩堝，是以中國統一進口真空內要能鍍6種膜 ３．的基板歸置儲存量為Φ75mm30片、Φ100mm20片、Φ150mmで9片。４．也可以完成入射角±5°以上的汽車鍍膜。５．負壓槽體的防著板轉化成了也可以朋分的態勢，改換一起兩倍快捷。６．對于可以配件大全，市場出清了基鋼板清洗平臺和冷阱。
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功效１．電極片膜?擋拆膜２．剝離技術膜
